нагревателен mocvd реактор с индукция
Реакторите за индукционно нагряване с металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD) са технология, насочена към подобряване на ефективността на нагряване и намаляване на вредното магнитно свързване с входа на газа. Конвенционалните MOCVD реактори с индукционно нагряване често имат индукционна намотка, разположена извън камерата, което може да доведе до по-малко ефективно нагряване и потенциални магнитни смущения в системата за подаване на газ. Скорошни... Прочети повече